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產品資料

晶圓腐蝕爐

  • 如果您對該產品感興趣的話,可以
  • 產品名稱:晶圓腐蝕爐
  • 產品型號:YY-碳化硅腐蝕爐
  • 產品展商:燕園科技
  • 產品文檔:無相關文檔
簡單介紹

用于硅片邊緣LTO的腐蝕去除,以便外延片的生長。

產品描述

產品規格:

1、適用范圍:8寸/12寸硅片
2、產能:批次腐蝕,每批次25片,產能依據腐蝕厚度
3、搬運方式:PFA cassette/手動

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